潔淨廠房中的氣體(ti) 管道是指氣體(ti) 壓力小於(yu) 等於(yu) 0.8MPa的氫氣、氧氣、氮氣、壓縮空氣、燃氣等一般氣體(ti) 和高純氣體(ti) 管道及真空管道，其具體(ti) 的安裝要求可參考《潔淨室施工及驗收規範》(JGJ 71-1990)的有關(guan) 規定。高純氣體(ti) 是指其氣體(ti) 純度大於(yu) 等於(yu) 99.9995%，含水量小於(yu) 5×10-4%的氣體(ti) 。

　　高純度、高潔淨氣體(ti) 管道的施工不同於(yu) 一般工業(ye) 管道，稍有疏忽便可能破壞氣體(ti) 的質量。因此，要理解安裝氣體(ti) 質量的重大意義(yi) 、要求嚴(yan) 格遵守設計、施工要求，工作嚴(yan) 肅認真、一絲(si) 不苟，高度重視各個(ge) 細小環節，建成符合要求的管路係統。要求做到以下幾個(ge) 方麵:

　　1.外觀的檢查工作

　　(1)管道係統的管材、閥門及所有附件，氣體(ti) 管道安裝怎麽(me) 樣，嚴(yan) 格設計要求選用，不得隨意更改或代換。

　　(2)所有管材應放在室內(nei) 精心保管，不得露天堆放、日曬和雨淋。

　　(3)管段端頭要用塑料或橡膠密封罩加以密封，不得脫落、破i裂。

　　(4)管子、管件、閥門等使用前，詳細進行下列外觀檢查:

　　1)無裂紋、縮孔、折疊、重皮等缺陷。

　　2)無鏽蝕、蝕斑等現象。

　　3)管子平直、圓滑，氣體(ti) 管道安裝生產(chan) 商，無局部凹陷，無刮傷(shang) 、擠壓等缺陷。

　　4)管材內(nei) 表麵的“粗糙度”是否符合設計要求，螺紋處密封、保護是否良好。

　　5)外購成品“內(nei) 表麵超光滑潔淨管”要有出廠合格證及相關(guan) 等i級i證書(shu) 和資i質證明。應隨機抽樣做顯微鏡下檢驗，必須符合設計要求。

　　6)檢查成品“內(nei) 表麵超光滑潔淨管”的外包裝和相應管端頭的管帽、堵頭等密封措施是否符合要求。

　　7)法蘭(lan) 的密封麵應當平整、光滑，氣體(ti) 管道安裝，不得有毛刺及徑向溝槽，實驗室氣體(ti) 管道安裝，凹凸法蘭(lan) 應當能夠自然嵌合，凸麵的高度不得低於(yu) 凹槽的深度。

　　8)橡膠、塑料等非金屬墊片，應當質地柔軟、無老化及分層現象，表麵不得有折損、皺i紋等現象。金屬墊片的加工尺寸、精度、厚度、表麵粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求，表麵不得有裂紋、毛刺、凹槽、徑向劃痕和鏽斑等缺陷。                                                                                  氣體(ti) 管道設計規範

　　（1）氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實驗室的各種氣體(ti) 管道支管宜明敷。當管道井、管道技術層內(nei) 敷設有氫氣、氧氣和煤氣管道時，應有換氣1~3次/h的通風措施。

　　（2）按標準單元組合設計的通用實驗室，各種氣體(ti) 管道也應按標準單元組合設計。

　　（3）穿過實驗室牆體(ti) 或樓板的氣體(ti) 管道應敷設在預埋套管內(nei) ，套管內(nei) 的管段不應有焊縫。管道與(yu) 套管之間采用非燃燒材料嚴(yan) 密封堵。

　　（4）氫氣、氧氣管道的末端和i高點宜設置放空管。放空管應高出層頂2m以上，並應設在防雷保護區內(nei) 。氫氣管道上還應設取樣點和吹掃口。放空管、取樣口和吹掃口的位置應能滿足管道內(nei) 氣體(ti) 吹掃置換的要求。

　　（5）氫氣、氧氣管道應有導除靜電的接地裝置。有接地要求的氣體(ti) 管道其接地和跨接措施應按國家現行有關(guan) 規定執行。

　　（6）管道敷設要求

　　① 輸送幹燥氣體(ti) 的管道宜水平安裝，輸送潮濕氣體(ti) 的管道應有不小於(yu) 0.3%的坡度，坡向冷凝液體(ti) 收集器。

　　② 氧氣管道與(yu) 其他氣體(ti) 管道可同架敷設，其間距不得小於(yu) 0.25m，氧氣管道應處於(yu) 除氧氣管道外的其它氣體(ti) 管道之上。

　　③ 氫氣管道與(yu) 其可燃氣體(ti) 管道平行敷設時，其間距不應小於(yu) 0.50m;交叉敷設時，其間距不應小於(yu) 0.25m。分層敷設時，氫氣管道應位於(yu) 上方。室內(nei) 氫氣管道不應敷設在地溝內(nei) 或直接埋地。不得穿過不適用氫氣的房間。

　　④ 氣體(ti) 管道不得和電纜、到店線路同架敷設。

　　⑤ 氣體(ti) 管道宜采用無縫鋼管。氣體(ti) 純度大於(yu) 或等於(yu) 99.99%的氣體(ti) 管道宜采用不鏽鋼管、銅管或無縫鋼管。

　　⑥ 管道與(yu) 設備的連接段宜采用金屬管道，如為(wei) 非金屬軟管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管，不得采用乳膠管。

　　⑦ 閥門和附件的材質：對氫氣和煤氣管道不得采用銅質材料，其它氣體(ti) 管道可采用銅、碳鋼和可鍛鑄鐵等材料。