高純氣體(ti) (High Purity Gases)，通常指利用現代提純技術能達到的某個(ge) 等級純度的氣體(ti) 。對於(yu) 不同類別的氣體(ti) ，純度指標不同，例如對於(yu) 氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等於(yu) 或高於(yu) 99.999%的為(wei) 高純氣體(ti) ；而對於(yu) 氧氣，純度為(wei) 99.99%即可稱高純氧；對於(yu) 碳氫化合物，純度為(wei) 99.99%的即可認為(wei) 是高純氣體(ti) 。高純氣體(ti) 應用領域極寬，在半導體(ti) 工業(ye) ，高純氮、氫、氬、氦可作為(wei) 運載氣和保護氣；高純氣體(ti) 可作為(wei) 配製混合氣的底氣。
高純氣體(ti) 中央供氣係統是專(zhuan) 為(wei) 高精度分析測試設備所用高純工作氣體(ti) 的傳(chuan) 輸而設計，係統需要為(wei) 分析設備提供壓力、流量穩定且經過長距離傳(chuan) 輸後純度不變的高純氣體(ti) 以滿足各種高精度分析設備的使用要求。係統同時還應該滿足安全性的要求，並方便客戶的日常使用及管理
實驗室氣體(ti) 管路工程主要材質為(wei) 不鏽鋼電解無縫鋼管，所有氣體(ti) 管路的連接采用無縫焊接方式，管路  安裝在天花板下方，沿著牆壁來進行布局，便於(yu) 檢查和維修，實驗室氣體(ti) 管道工程采用集中供氣有以下優(you) 點:1.保持氣體(ti) 純度：氣瓶均配有衝(chong) 洗閥，以排除每次更換氣瓶時引入的雜質，確保了管路終端氣體(ti) 的純度。  
1． 由於(yu) 存放的氣體(ti) 由於(yu) 有可燃性氣體(ti) 和助燃氣體(ti) ，按國家規定必須分庫存放。分別放 入不同的氣瓶間內(nei) 。 
2． 氣瓶間內(nei) 設立一次調壓麵板。  
3． 壓力調節器入口前需加裝燒結金屬過濾器以防止顆粒等雜質汙染係統。  
4． 所有麵板均配備吹掃閥，可實現對麵板的清洗置換。  
5． 壓力調節器及相關(guan) 管件均需牢固的固定在壓力調節麵板上，麵板應設計的緊湊而合 理，以盡量減少係統中的死體(ti) 積。 
6． 壓力調節麵板應采用全不鏽鋼材料製成，並且牢固的固定在可靠的位置上，確保其 安全性。
7． 氣瓶間內(nei) 存放的氣瓶采用帶防倒鏈的氣瓶支架固定，氣瓶支架堅固耐用、美觀大方。 氣瓶支架采用鋁合金製作而成。 
8． 氣瓶間內(nei) 的氣體(ti) 鋼瓶與(yu) 壓力調節器之間采用SS 316L高壓金屬軟管連接無滲透。 高壓軟管為(wei) 柔性軟管，以保證連接的方便性。
9． 高壓軟管上的鋼瓶接頭必需與(yu) 鋼瓶角閥的規格相匹配，以確保連接的可靠性。
10． 排空氣路應分類收集、固定牢固並排放至室外安全地點。
高純氣體(ti) 中央供氣係統是專(zhuan) 為(wei) 高精度分析測試設備所用高純工作氣體(ti) 的傳(chuan) 輸而設計，係統需要為(wei) 分析設備提供壓力、流量穩定且經過長距離傳(chuan) 輸後純度不變的高純氣體(ti) 以滿足各種高精度分析設備的使用要求。係統同時還應該滿足安全性的要求，並方便客戶的日常使用及管理。
高純氣配管技術是高純氣體(ti) 供氣係統的重要組成部分，是能否將合符要求的高純氣體(ti) 送至用氣點仍保持質量合格的關(guan) 鍵技術；所謂高純氣配管技術包括係統的正確設計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內(nei) 容。近年來以大規模集成電路為(wei) 代表的微電子產(chan) 品生產(chan) 對高純氣體(ti) 的純度和雜質含量的日益嚴(yan) 格的要求，使高純氣體(ti) 的配管技術日益受到關(guan) 注和重視。以下針對高純氣體(ti) 輸送從(cong) 選材到施工以及驗收、日常管理作個(ge) 簡單的概述。
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