高純氣配管技術是高純氣體(ti) 供氣係統的重要組成部分,是能否將合符要求的高純氣體(ti) 送至用氣點仍保持質量合格的關(guan) 鍵技術;所謂高純氣配管技術包括係統的正確設計、管件及附件的選擇、施工安裝和 試驗測試等內(nei) 容。
常見氣體(ti) 的種類電子行業(ye) 中常見氣體(ti) 的分類:普通氣體(ti) ,也稱大宗氣體(ti) (Bulk gas ):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等特種氣體(ti) (Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等特殊氣體(ti) 的種類一般可分為(wei) 腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半導體(ti) 氣體(ti) 分類如下:
(一)、腐蝕性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
(二)、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等
(三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等
(四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等 半導體(ti) 氣體(ti) 很多是對人體(ti) 有害。
特別是其中有些氣體(ti) 如SiH4的自燃性,隻要一泄漏就會(hui) 與(yu) 空氣中的氧氣起劇烈反應,開始燃燒;還有AsH3的劇毒性,任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害,也就是因為(wei) 這些顯而易見的危險,所以對於(yu) 係統設計安全性的要求就特別高。 醫療氣體(ti) 管線供給係統是一個(ge) 現代化醫院重要的且*的組成部分,它包括醫用氧氣係統、負壓吸引係統、壓縮空氣係統、笑氣(N2O)、氮氣係統及二氧化碳係統和中心工作站等。通過醫療氣體(ti) 中心管道係統工程的合理設計,使醫院能以較低的投資獲得一個(ge) 功效強大的供氣係統,確保醫院的醫療係統運行。
一、 醫用氣體(ti) 的基本種類及用途
1.醫用氣體(ti) 的基本種類為(wei) 醫用氧氣、負壓吸引、壓縮空氣、氮氣、笑氣(N2O)及二氧化碳等氣體(ti) 。
氧氣主要用於(yu) 一般病人吸氧,危急病人吸氧及用於(yu) 藥物的霧化等;
負壓吸引主要吸痰、膿及血液之用;
壓縮空氣用於(yu) 口腔設備及作為(wei) 動力(混合氣體(ti) 用);
氮氣作為(wei) 手術氣動工具的動力;
笑氣(N2O)用作為(wei) 手術時的麻醉氣體(ti) 。
二氧化碳氣用於(yu) 腹腔充氣及試驗室培養(yang) 細菌。
二、 醫用氣體(ti) 管道係統及中心工作站(氣源)的設置
醫用氣體(ti) 管道係統是指醫療用的氧氣,負壓吸引、壓縮空氣、笑氣、氮氣、二氧化碳等氣體(ti) 的集中供給、排放和配管係統。
醫用氣體(ti) 設置的區域為(wei) 病房、手術室、監護病房(1CU)、搶救室、急診、觀察室、高壓氧倉(cang) 、婦科人流室、口腔科等醫療場所。為(wei) 保證醫療供氣係統穩定、連續地供氣,采用集中管理的中央配管係統設置中心工作站(包括供氧站、真空泵房、空壓機站等),通過管道連接醫院每個(ge) 氣體(ti) 終端。