GC特氣櫃(Gas Cabinet)和GR特氣架(Gas Rack)的功能安裝設計
特氣櫃Gas Cabinet是專(zhuan) 為(wei) 易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體(ti) 供應而設計的供應係統,按類別可分為(wei) :全自動、半自動和手動操作。基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷(當設定報警信號被觸發時)。
全自動氣櫃通過采用PLC控製,觸控屏為(wei) 人機界麵,通過設備安裝的壓力傳(chuan) 感器、氣動閥、過流量計等裝置,實現設備安全有效的運行。其內(nei) 部PLC程式設計的安全聯鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局,既滿足了半導體(ti) 工藝生產(chan) 過程中對特殊氣體(ti) 連續供給和高純度的要求,同時也確保了工廠正常生產(chan) 和員工人身安全。下麵由京南華建技術為(wei) 大家簡單介紹一下GC特氣櫃(Gas Cabinet)和GR特氣架(Gas Rack)的功能設計。
特氣櫃/架,VMB/VMP簡介
GC—Gas Cabinet 氣瓶櫃(用於(yu) 危害性氣體(ti) ) GR—Gas Rack 氣瓶架(用於(yu) 危害性氣體(ti) )
VMB—Valve Manifold Box 閥門箱(用於(yu) 危害性氣體(ti) ) VMP—Valve Manifold Panel 閥門盤(用於(yu) 危害性氣體(ti) ) 特氣櫃和VMB主要用於(yu) 易燃易爆腐蝕有毒等危害性氣體(ti) ,而氣瓶架和VMP一般用於(yu) 非危害性氣體(ti) ;主要區別在於(yu) ,特氣櫃和VMB都要有一個(ge) 外殼上有抽風管,當發生小泄露等危險情況時可將此類氣體(ti) 排出去避免擴散產(chan) 生更大危險。