滿足不同實驗的要求和安全性。雙瓶采用匯流排供氣設備，具有手動、半自動和全自動切換功能，並設有低壓報警裝置，實時監控氣壓、濃度檢測報警和排氣，確保客戶正常用氣和生命財產(chan) 安全。

　　氣路係統常用設備

　　鋼瓶(氣體(ti) 壓縮機)、鋼瓶固定架、鋼瓶櫃、鋼瓶接頭、金屬軟管、半自動開關(guan) 裝置、一級減壓器、二級減壓器、焊接三通、焊接大、小封頭、夾緊套筒閥、不鏽鋼管(BA)、壓力表、可燃有毒氣體(ti) 監測報警裝置等。

　　實驗室集中供氣係統技術要求

　　1、氣瓶存放室:

　　(1)氣瓶之間應采用300毫米厚的實心牆，安裝防爆門，設置防爆窗;

　　(2)室內(nei) 電氣設備應具有防爆功能;

　　(3)應安裝排氣扇，隨時保持良好的通風狀態;

　　2、供氣係統需要兩(liang) 級減壓供氣。供氣匯流排減壓。氣體(ti) 從(cong) 15MPa減壓到小於(yu) 1.5MPa，然後輸送到每個(ge) 氣體(ti) 使用實驗室。二級減壓器安裝在每個(ge) 用氣實驗室或用氣點，便於(yu) 對通風櫃或儀(yi) 表的氣體(ti) 輸送壓力進行統一控製。用氣終端裝有中壓球閥和壓力指示器。二級減壓器精確調節壓力(0.01兆帕)，獲得穩定的壓力，可以滿足儀(yi) 器對不同使用壓力的要求。一級減壓器和二級減壓器均配有壓力表，可實時顯示當前壓力。

　　3、采用雙側(ce) 匯流排半自動方式連續供氣,實驗室使用要求。更換氣瓶時，可以通過安裝在高壓軟管下方的夾緊套更換氣瓶;

　　4、氫氣和乙炔是。應設計氣體(ti) 泄漏檢測和報警裝置，並安裝阻火器，以防止明火回流。應確保放置易燃和助燃氣體(ti) 的足夠安全距離。

　　實驗室高純氣路布局

　　1.高純氣體(ti) 管道係統的布置不同於(yu) 普通氣體(ti) 管道。一般來說，要求管道不要太長，不要有死角，如不容易吹幹淨的“盲管"。主管或支管的末端應提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續使用的用戶中，讓少量氣體(ti) 在管道末端連續排出，從(cong) 而管道中的氣體(ti) 將正常流動，避免出現“死區"。根據工藝氣體(ti) 的質量要求，必要時應設置終端淨化裝置。一般來說，控製閥、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀(yi) 器等。進入潔淨車間的高純度氣體(ti) 管道集中在氣體(ti) 人口室，便於(yu) 統一管理和控製。

　　2.高純氣路管道及管道附屬材料:高純氣體(ti) 管道輸送管道應根據工藝對氣體(ti) 純度、允許雜質含量、顆粒含量等的不同要求，采用相應質量的管道。例如，半導體(ti) 工業(ye) 不僅(jin) 需要清潔的生產(chan) 環境，而且由於(yu) 其複雜的生產(chan) 過程和精細加工，對生產(chan) 過程中所需的各種高純度氣體(ti) 也有具體(ti) 和嚴(yan) 格的要求。從(cong) 微米技術到亞(ya) 微米和深亞(ya) 微米(小於(yu) 0.35um)技術，對氣體(ti) 中雜質含量和水分含量的要求非常嚴(yan) 格，10-6 (ppm級)不能滿足要求。需要達到10-9 (ppb級)甚至10-12(ppt級)，粉塵粒徑需要控製在0.05-0.01 μm。因此，輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體(ti) 的要求。

　　3.管道材料的特性對於(yu) 輸送高純氣體(ti) 的管道，影響氣體(ti) 質量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率、吸附性、表麵粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性。

　　供氣係統管道安裝要求

　　1、管道敷設應符合設計要求，設計沒有要求時，幹氣管道應水平安裝;輸送濕氣的管道應安裝坡度不小於(yu) 0.003，坡度應朝向冷凝水收集器。

　　2.管道采用焊接連接，鎢極氬弧焊打底，手工電弧焊覆蓋。不鏽鋼管焊接或點焊應采取充氬保護措施。

　　3.氣體(ti) 管道和設備、閥門和其他附件應通過法蘭(lan) 或螺紋連接。螺紋接頭的填料必須是聚四氟乙烯薄膜;

　　4、氣體(ti) 管道穿過潔淨室時，法蘭(lan) 墊片或螺紋填料的外露部分，必須清理幹淨;

　　5.氣體(ti) 管道采用噴砂除鏽或酸洗鈍化無縫鋼管時，必須采用集中安裝方式，安裝應在48小時內(nei) 分段組合，氮氣保護，填充壓力不小於(yu) 0.2兆帕;

　　6.對於(yu) 有接地要求的燃氣管道，法蘭(lan) 之間必須焊接導電跳線。導體(ti) 截麵和焊接搭接長度應符合設計要求。焊點必須牢固可靠。

　　供氣管道安裝注意事項

　　1.所有氣體(ti) 管道由高質量、退火和無縫不鏽鋼管組成。銅管僅(jin) 用於(yu) 輸氣管道的末端，對氣體(ti) 純度的要求不太嚴(yan) 格。(例如通風櫥)。

　　2、氣路安裝管道不得敷設電纜和導電線。

　　3.，如乙炔，需要與(yu) 其他氣體(ti) 分開引入。氫氣管道與(yu) 其他可燃氣體(ti) 管道平行敷設時，其間距不得小於(yu) 0.5M交叉敷設時間間隔不得小於(yu) 0.25米，分層敷設時氫氣管道應位於(yu) 上方。

　　4.壓縮空氣有淨化裝置，用於(yu) 過濾管道上的雜質和水分。淨化裝置需要並聯連接，並通過單獨的閥門分開，以便於(yu) 過濾裝置的維護。

　　5.高純氣體(ti) 管道的連接采用無縫焊接。接頭配件隻能在連接到閥門或調節裝置時使用。

　　6、每個(ge) 實驗室應有單獨的控製閥、国际伟德1946和壓力表。

　　7.通向工作台的氣體(ti) 管道應安裝單獨的控製閥。工作台應設置均勻排放各種氣體(ti) 的控製閥。建議在氦氣管道前安裝一個(ge) 氣體(ti) 淨化裝置。

　　8、每隔1.5米左右，氣體(ti) 管道需要一個(ge) 支架。此外，根據氣體(ti) 管道的彎曲半徑，設置合適的支架位置。必須支持所有彎曲。燃氣管道安裝管道的所有支架均應鍍鋅防腐處理。