使用 先進的自動焊接施工工藝安裝管道、減壓器、壓力表、高壓金屬軟管、鋼瓶接頭、焊接接頭、卡套接頭、不鏽鋼潔淨管等。
（1）易燃性氣體(ti)
把自燃、易燃、可燃氣體(ti) 等都定義(yi) 為(wei) 這類氣體(ti) 。如常溫下的SiH4氣體(ti) 隻要與(yu) 空氣接觸就會(hui) 燃燒，當環境溫度達到一定時，PH3與(yu) B2 H6等氣體(ti) 也會(hui) 產(chan) 生自燃。可燃都有一定的著火燃燒爆炸範圍，即上限、下限值。此範圍越大的氣體(ti) 起爆炸燃燒危險性就越高，如B 2H6的爆炸上限為(wei) 98%，爆炸下限為(wei) 0.9%。屬於(yu) 有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。
毒性氣體(ti) （Toxic Gas）：半導體(ti) 製造行業(ye) 中使用的氣體(ti) 很多都是對人體(ti) 有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體(ti) 的毒性 大，它們(men) 的閾限值TLV（Threshold Limited Valve）分別隻有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體(ti) 在工作環境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術措施來控製使用這些氣體(ti) 。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬於(yu) 毒性氣體(ti) 。
（3）腐蝕性氣體(ti) （Corrosive Gas）：這些腐蝕性氣體(ti) 通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體(ti) 在幹燥狀態下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環境下就顯示出很強的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。
惰性氣體(ti) (Inert Gas)： 隋性氣體(ti) 本身一般不會(hui) 直接對人體(ti) 產(chan) 生傷(shang) 害，在氣體(ti) 傳(chuan) 輸過程中，相對於(yu) 安全上的要求不如以上其他氣體(ti) 嚴(yan) 格。但惰性氣體(ti) 具有窒息特性，在密閉空間若發生泄漏會(hui) 使人窒息而造成工傷(shang) 事故。屬於(yu) 這類的氣體(ti) 有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。