氣體(ti) 管路實驗室分析儀(yi) 器,氣體(ti) 管路非標實驗設備,氣體(ti) 管路連接及接頭的設計加工。從(cong) 氣瓶房到實驗室氣體(ti) 管路的氣體(ti) 管線,實驗室內(nei) 氣路箱的設計安裝,氣體(ti) 報警裝置的設計安裝。 使用的自動焊接施工工藝安裝管道、減壓器、壓力表、高壓金屬軟管、鋼瓶接頭、焊接接頭、卡套接頭、不鏽鋼潔淨管等。 (1)易燃性氣體(ti) 把自燃、易燃、可燃氣體(ti) 等都定義(yi) 為(wei) 這類氣體(ti) 。如常溫下的SiH4氣體(ti) 隻要與(yu) 空氣接觸就會(hui) 燃燒,當環境溫度達到一定時,PH3與(yu) B2 H6等氣體(ti) 也會(hui) 產(chan) 生自燃。可燃易燃氣體(ti) 都有一定的著火燃燒爆炸範圍,即上限、下限值。此範圍越大的氣體(ti) 起爆炸燃燒危險性就越高,如B 2H6的爆炸上限為(wei) 98%,爆炸下限為(wei) 0.9%。屬於(yu) 易燃氣體(ti) 有H2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。毒性氣體(ti) (Toxic Gas):半導體(ti) 製造行業(ye) 中使用的氣體(ti) 很多都是對人體(ti) 有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體(ti) 的毒性大,它們(men) 的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別隻有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體(ti) 在工作環境中的允許濃度極微,因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術措施來控製使用這些氣體(ti) 。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬於(yu) 毒性氣體(ti) 。 (3)腐蝕性氣體(ti) (Corrosive Gas):這些腐蝕性氣體(ti) 通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體(ti) 在幹燥狀態下一般不易侵蝕金屬,但在遇到水的環境下就顯示出很強的腐蝕性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。惰性氣體(ti) (Inert Gas): 隋性氣體(ti) 本身一般不會(hui) 直接對人體(ti) 產(chan) 生傷(shang) 害,在氣體(ti) 傳(chuan) 輸過程中,相對於(yu) 安全上的要求不如以上其他氣體(ti) 嚴(yan) 格。但惰性氣體(ti) 具有窒息特性,在密閉空間若發生泄漏會(hui) 使人窒息而造成工傷(shang) 事故。屬於(yu) 這類的氣體(ti) 有C2F6,CF4,SF6,CHF 3等。 (5)氧化性氣體(ti) (Oxide Gas):這類氣體(ti) 有較強的氧化性,一般同時具有其他特性,如毒性或腐蝕性等。屬於(yu) 這類的氣體(ti) 有ClF3,Cl2,NF3等。 (6)大宗氣體(ti) 。屬於(yu) 這類氣體(ti) 有N2,O2,CO2等 |