特氣壓力管道工程規劃                                                                                                                   
(1)易燃性氣體(ti)
把自燃、易燃、可燃氣體(ti) 等都定義(yi) 為(wei) 這類氣體(ti) 。如常溫下的SiH4氣體(ti) 隻要與(yu) 空氣接觸就會(hui) 燃燒，當環境溫度達到一定時，PH3與(yu) B2 H6等氣體(ti) 也會(hui) 產(chan) 生自燃。可燃易燃氣體(ti) 都有一定的著火燃燒爆炸範圍，即上限、下限值。此範圍越大的氣體(ti) 起爆炸燃燒危險性就越高，如B 2H6的爆炸上限為(wei) 98%，爆炸下限為(wei) 0.9%。屬於(yu) 易燃氣體(ti) 有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3。
(2)毒性氣體(ti) (Toxic Gas)：半導體(ti) 製造行業(ye) 中使用的氣體(ti) 很多都是對人體(ti) 有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體(ti) 的毒性***大，它們(men) 的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別隻有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體(ti) 在工作環境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術措施來控製使用這些氣體(ti) 。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬於(yu) 毒性氣體(ti) 。
(3)腐蝕性氣體(ti) (Corrosive Gas)：這些腐蝕性氣體(ti) 通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體(ti) 在幹燥狀態下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環境下就顯示出很強的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。
(4)惰性氣體(ti) (Inert Gas)： 隋性氣體(ti) 本身一般不會(hui) 直接對人體(ti) 產(chan) 生傷(shang) 害，在氣體(ti) 傳(chuan) 輸過程中，相對於(yu) 安全上的要求不如以上其他氣體(ti) 嚴(yan) 格。但惰性氣體(ti) 具有窒息特性，在密閉空間若發生泄漏會(hui) 使人窒息而造成工傷(shang) 事故。屬於(yu) 這類的氣體(ti) 有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
(5)氧化性氣體(ti) (Oxide Gas)：這類氣體(ti) 有較強的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬於(yu) 這類的氣體(ti) 有ClF3 ,Cl2,NF3等。
實驗室特種氣體(ti) 管道工程安裝有哪些標準：
1、所有氣體(ti) 管道都由高質量的、*退火型、無縫連接的不鏽鋼管SS-316L組成，銅管隻使用在氣體(ti) 管路的末端和氣體(ti) 純度不是要求太嚴(yan) 格的地方（比如通風櫃）
2、所有的管路、閥門、壓力表都由高質量的不鏽鋼構成，並且都是標準配件。
3、根據實驗室的用氣量，計算供氣壓力、流量和管道的內(nei) 徑，所有氣體(ti) 主管道原則上不低於(yu) 9.52mm（3/8in，儀(yi) 器空氣主管道直徑為(wei) 12.7mm）。管路末端，原則上不低於(yu) 6.35mm（1/4in，也可根據實際使用量而定）。
4、所有管路在天花板下麵布設，並通過功能柱到中央台。邊台的氣體(ti) 管路隱藏在實驗工作台後麵服務通道內(nei) 。
5、易燃氣體(ti) （如乙炔、氫氣等）需要和其他氣體(ti) 分開，單獨引入。
6、所有氣體(ti) 管路的連接為(wei) 無縫焊接。連接到閥門或調節裝置時，才可以使用壓力配件。
7、每個(ge) 實驗室都要有單獨的閥門、国际伟德1946門、壓力表。此外，對於(yu) 供應多台分析儀(yi) 器的氣體(ti) 管路，另外還需要氣體(ti) 壓力控製指示裝置。
8、引到工作台的氣體(ti) 管路將安裝單獨的球閥或針閥來控製。
9、氣相色譜工作台上均勻的排放各種氣體(ti) 的出口，管徑為(wei) 3.18mm（1/8in）。在氦氣管路前麵建議安裝氣體(ti) 淨化裝置。
10、工作台上氣體(ti) 出口由單獨的閥門來控製。
11、所有氣體(ti) 出口為(wei) 不鏽鋼閥門。
12、氣體(ti) 管路每隔1.5m的距離，都要有明確表標示，同時指示氣體(ti) 的流向。
13、氣體(ti) 管路的支架要求耐腐蝕，可以采用不鏽鋼或其他合適的工程塑料等製作。                                                特氣壓力管道工程規劃