天津高純氣體(ti) 管道供氣安裝
北京京南華建安裝設備有限公司專(zhuan) 注安裝經營  高純氣體(ti) 管道是高純氣體(ti) 供氣係統的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體(ti) 送至用氣點仍保持質量合格的關(guan) 鍵 ，包括係統的設計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內(nei) 容。近年來以大規模集成電路為(wei) 代表的微電子產(chan) 品生產(chan) 對高純氣體(ti) 的純度和雜質含量的日益嚴(yan) 格的要求，使高純氣體(ti) 的配管技術日益受到關(guan) 注和重視。
高純氣體(ti) 管道輸送管道，要根據工藝過程對氣體(ti) 純度、允許的雜質含量、微粒含量等的要求不同，采用相應質量的管材。比如半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 因其生產(chan) 工藝複雜、加工精細，它不僅(jin) 要求有潔淨的生產(chan) 環境，而且對生產(chan) 過程中所需的各種高純氣體(ti) 有特定的、嚴(yan) 格的要求，從(cong) 微米技術進入亞(ya) 微米、深亞(ya) 微米(小於(yu) 0.35g.m)技術，對氣體(ti) 中的雜質含量、水含量要求極為(wei) 嚴(yan) 格，10 -6(ppm級)已經不能達到要求，需要達到10-9(ppb級)，甚至10-12(ppt級)。因此輸送管道本身的管道材料特性適應高純、超高純氣體(ti) 的要求成為(wei) 必須。
高純氣體(ti) 管道的設計要點：
對於(yu) 不同特性的氣體(ti) ，要規劃獨立的供應區域，一般分為(wei) 三個(ge) 區：腐蝕性/毒性氣體(ti) 區、可燃性氣體(ti) 區、惰性氣體(ti) 區，將相同性質的氣體(ti) 集中加強管理，可燃性氣體(ti) 區要特別規劃防爆牆與(yu) 泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體(ti) 放置與(yu) 毒性/腐蝕性氣體(ti) 區。
管道設計需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風險也越高，通常較合理的設計流速為(wei) 20ml/S，可燃性氣體(ti) 小於(yu) 10ml/S,毒性/腐蝕性氣體(ti) 小於(yu) 8ml/S，在用量設計方麵，則需要考慮使用點的壓力和管徑大小，前者與(yu) 氣體(ti) 特性有關(guan) ，後者使用點的管徑一般為(wei) 1/4”～3/8”。
根據用氣設備的分布情況，高純氣體(ti) 的管網不宜過大或者過長；宜采用不封閉的環形管路，在係統末端連續不斷排放少量的氣體(ti) ，以便在管網中總有高純氣體(ti) 流通，不會(hui) 發生“死空間”引起高純氣體(ti) 的汙染。
管路中應減少不流動氣體(ti) 的“死空間”，不應設有盲管，在特種氣體(ti) 的儲(chu) 氣瓶與(yu) 用氣設備之間應設吹掃控製裝置、多閥門控製裝置、用以控製各個(ge) 閥門的開關(guan) 順序、係統吹除，以確保供氣係統的安全、可靠運行和防止“死區”形成而滯留汙染物，降低氣體(ti) 純度。
對高純氣體(ti) 純度要求不同的用氣設備，宜采用分等級高純氣體(ti) 輸送係統；也可采用同等級輸送係統，但是在純度要求高的用氣設備鄰近處設末端氣體(ti) 提純裝置。
為(wei) 了檢測高純氣體(ti) 的純度和雜質含量，輸送係統除了設置必要的連續檢測儀(yi) 器，如衡量水含量或者氧雜質含量等分析儀(yi) 外，還應設置定期取樣用的檢測采樣口，以便按規定時間進行采樣，分析高純氣體(ti) 中各種雜質的含量。
在亞(ya) 微米級的集成電路生產(chan) 中，要求供應10－9級的高純氣體(ti) ，為(wei) 了確保末端用氣工藝設備處的氣體(ti) 純度，使氣體(ti) 中的雜質含量（包括塵粒）控製在規定的數值內(nei) ，一般在設備前設置末端純化裝置，或末端高精度氣體(ti) 過濾器
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